MEMS/NEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films 

【作 者】Anirudha V. Sumant;Orlando Auciello;Meiyong Liao and Oliver A. Williams
【刊 名】MRS Bulletin
【出版日期】2014
【卷 号】Vol.39
【期 号】No.6
【页 码】511-516
MEMSNEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films.pdf