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相变存储单元热模拟及其CMP关键技术研究
[2020-09-16]

相变存储单元热模拟及其CMP关键技术研究 博士论文，作者刘奇斌，培养单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，导师：宋志棠

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