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AlGaN/GaN HEMT传感器芯片制作工艺与传感特性研究
[2015-07-07]

题名：AlGaN/GaN HEMT传感器芯片制作工艺与传感特性研究

郭智博

清华信息科学与技术国家实验室( 筹) / 集成光电子学国家重点实验室清华大学电子工程系

 

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