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SiC半导体掺氯热氧化技术研究
[2025-04-25]
作者:
于洪权
机构:
大连理工大学
|
大连理工大学
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大连理工大学
院校:
大连理工大学
专业:
电子信息
学位:
硕士
授予机构:
大连理工大学
导师:
王德君
SiC半导体掺氯热氧化技术研究.PDF