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面向三维集成的新型IGZO DRAM制备与性能优化研究
[2025-03-14]
【作者】 颜刚平 中国科学院微电子研究所
【导师】 许高博, 殷华湘 中国科学院微电子研究所,中国科学院微电子研究所



面向三维集成的新型IGZO_DRAM制备与性能优化研究.pdf