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高可靠性的SiC MOSFET设计制备技术研究
[2024-10-24]
【作者】 刘少煜 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【导师】 俞跃辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所


学位: 博士

培养单位: 上海微系统与信息技术研究所

授予机构: 中国科学院大学

学科: 微电子学与固体电子学

学位授予时间: 2023-01-01



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