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高可靠性的SiC MOSFET设计制备技术研究 [2024-10-24] |
【作者】 刘少煜 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【导师】 俞跃辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 学位: 博士 培养单位: 上海微系统与信息技术研究所 授予机构: 中国科学院大学 学科: 微电子学与固体电子学 学位授予时间: 2023-01-01 高可靠性的SiC_MOSFET设计制备技术研究.pdf |