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SiC MOSFET栅氧界面研究与器件研制 [2024-10-23] |
【作者】 李帅 中国科学院微电子研究所 学位: 博士 培养单位: 微电子研究所 授予机构: 中国科学院大学 学科: 微电子学与固体电子学 学位授予时间: 2023-07-01 SiC_MOSFET栅氧界面研究与器件研制.pdf |