首 页 >> 单篇全文
SiC MOSFET栅氧界面研究与器件研制
[2024-10-23]
【作者】 李帅 中国科学院微电子研究所
【导师】 罗军叶甜春 中国科学院微电子研究所,中国科学院微电子研究所


学位: 博士

培养单位: 微电子研究所

授予机构: 中国科学院大学

学科: 微电子学与固体电子学

学位授予时间: 2023-07-01



SiC_MOSFET栅氧界面研究与器件研制.pdf