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基于SiC MOS的栅氧可靠性研究
[2024-10-23]
【作者】 李海荣 中国科学院微电子研究所
【导师】 罗军 中国科学院微电子研究所


学位： 电子信息硕士

培养单位： 微电子研究所

授予机构： 中国科学院大学

学科： 电子信息

学位授予时间： 2023-07-01



基于SiC_MOS的栅氧可靠性研究.pdf