中国科学院大学

硕士学位论文

作者姓名:谢宗恒

指导教师:陈佰乐 研究员

上海科技大学

学位类别:工学硕士

学科专业:微电子学与固体电子学

培养单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2021年6月