中国科学院大学

硕士学位论文

SiC MOSFET栅氧化层可靠性和NBTI效应研究

作者姓名：刘建君指

导教师：白云 研究员

学位类别：工程硕士

学科专业：集成电路

工程培养单位：中国科学院大学微电子学院

2021年6月