科研装备
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先进的设备,完善的工艺平台

中科院照明中心研发中心
建成了1500平方米的超净工艺环境;装备方面总体已完成投入3915万元,具备从材料制备、芯片工艺、封装测试完整的研发工艺线。 “中心”组建了强有力的研发团队,由18位留学回国人员、29名博士及高级职称和近30余名工程技术人员组成;并与美、日、德等国建立了国际合作关系,聘请了8位客座研究员。在半导体照明重大装备、材料生长、器件工艺、重大应用等方面与国内外相关研发产业机构建立了良好的关系。

                    十级光刻间                分析\检测间
                    MOCVD系统                 分子束外延系统
                    微电子工艺线              电子束蒸发台、光电器件测试设备
                    清洗\腐蚀间               多通道光纤/光源波导耦合测试仪

MOCVD系统 十级光刻间 微电子工艺线 清洗\腐蚀间 分析\检测间


 
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