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半导体研究所研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展
2012-08-14 点击次数:

 

 

    在中国科学院和广东省共同支持下,由中科院半导体研究所负责研制开发的48片MOCVD首台样机取得重大进展。样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核,同时进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核,所外延的氮化物材料,分别由山东华光、杭州士兰明芯,武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。经多家第三方检测的结果表明,用此48片MOCVD样机外延的氮化镓材料,其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。

    2012年3月10日,在广东省与中国科学院在北京举行的全面战略合作座谈会上,首台48片MOCVD样机研制成果向广东省委书记汪洋做了专项汇报,省长朱小丹,中科院院长白春礼等领导做了专门汇报,我所李晋闽研究员参加了汇报会。会上白春礼院长提到,近年来,中科院与广东省积极推进产学研合作,“MOCVD国产化”等重大科技项目合作取得重大突破,在基础研究和原始创新等方面实现了重大进展,打下了扎实的合作基础。中科院将加快推进院省全面战略合作,进一步支持广东区域创新体系建设,助推广东产业转型升级。会议期间,还举行了MOCVD装备成果与用户进行的应用合作签约,汪洋书记、白春礼院长等领导共同出席了签约仪式,我所曾一平研究员等参加了签约仪式。


 
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