最小可检漏率（真空模式）

＜5×10^-13Pa•m³/s

最小可检漏率（吸入器模式）

＜3×10^-9 Pa•m³/s

入口压强     粗检模式

             精检模式

             超精检模式

15 mbar

2 mbar

0.4 mbar

在抽空过程中的抽速

25立方米/小时

入口压强对氦气抽速  粗检模式

                   精检模式

                 超精检模式

8升/秒

7升/秒

2.5升/秒

可检质量数

2、3、4amu, 氢，氦，氦