张 连

张连,女,博士,副研究员,硕士生导师。

2012年于中科院半导体所获得博士学位,同年入职半导体所,长期从事氮化物半导体材料的外延生长、光电器件、射频器件以及高压大功率器件的研究。承担或参与多项国家级科研项目,取得了具有国际影响力的研究成果。

取得的重要科研成果

(1) 突破MOCVD选区外延GaN基材料及高效掺杂关键问题。建立生长模型,明确了选区外延材料中载流子输 运机制,实现Si掺杂电子浓度突破1×1020/cm3

(2) 面向毫米波通信射频前端应用,突破小尺寸关键工艺,制备出截止频率/最大震荡频率(fT/fmax=190/301GHzGaN HEMT 太赫兹器件。

(3) 牵头攻关高导电性、长载流子寿命的pGaN关键问题。实现空穴浓度2.4×1018/cm3下,迁移率 16cm2/V·spInGaN 材料材料,为国际领先水平。

(4) 牵头攻关高压、射频 GaN HBT材料与器件,研发出国内第一只射频GaN HBTfT =4 GHz,电流增益达到130。制备出150V等级的GaN HBT器件,电流密度28 kA/cm2,部分指标是蓝宝石衬底技术路线的国际最高水平。

主要研究领域方向:

1.氮化物宽禁带半导体材料外延

2.GaNHEMT太赫兹器件

3.GaNHBT射频/高压器件

联系方式:

邮箱:zhanglian07@semi.ac.cn;电话:010-82305357

在研/完成项目:

(1) 基金项目,射频GaNHBT材料与芯片, 2021.10-2024.10, 参与单位负责人,在研。

(2) 中科院稳定支持青年团队计划,5G/6G高性能射频器件研究,2022.01-2027.12,骨干参与,在研。

(3) 科学挑战计划,超高频GaNHEMT异质结外延与源漏再生长研究, 2018-01 2021-12, 骨干参与,已结题。

(4) 国家自然基金委面上项目,基于选区外延p型栅的增强型GaNHEMT研究,2017.01-2020.12,主持,已结题。

(5) 国家自然基金委青年项目,极化调控 GaN 基三元合金能带和掺杂效应的研究,2014.01-2016.12,主持,已结题。

代表性论文或著作:

(1) Yawei He#, Lian Zhang# , Zhe Cheng , Chengcheng Li, Jiaheng He , Shujie Xie,

Xuankun Wu, Chang Wu, and Yun Zhang, Scaled InAlN/GaN HEMT on Sapphire with fT/fmax of 190/301 GHzIEEE Transactions on electron devices70(6), 3001-3004, 2023

(2) Lian Zhang; Xinyuan Wang; Jianping Zeng; Lifang Jia; Zhe Cheng; Yujie Ai; Zhe Liu; Wei Tan; Yun Zhang ; AlGaN/GaN Heterojunction Bipolar Transistors With High Current Gain and Low Specific on-Resistance, IEEE Transactions on Electron Devices, 69(12): 6633-6636,2022.

(3) Lian Zhang; Rong Wang; Zhe Liu; Zhe Cheng; Xiaodong Tong; Jianxing Xu; Shiyong Zhang; Yun Zhang; Fengxiang Chen ; Regulation of Hole Concentration and Mobility and First-Principle Analysis of Mg-Doping in InGaN Grown by MOCVD, materials, 14(5339), 2021.

(4) Lian Zhang; Zhe Cheng; Yawei He; Lifang Jia; Xinyuan Wang; Shiyong Zhang; Wei Tan; Yun Zhang ; Optimization of selective-area regrown n- GaN via MOCVD for high-frequency HEMT, Applied Physics Letters, 119(262104),2021.

(5) Lian Zhang; Zhe Cheng; Jianping Zeng; Hongxi Lu; Lifang Jia; Yujie Ai; Yun Zhang; AlGaN/GaN Hetero-Junction Bipolar Transistor with Selective-Area Grown Emitter and Improved Base Contact, IEEE Transactions on electron devices, 66(3): 1197-1201,2019.