袁 泉

袁泉,男,博士,副研究员,硕士生导师。

2006西北工业大学电子信息学院本科,2012年北京大学微电子学与固体电子学理学博士(硕博连读),并进入中科院半导体所集成中心工作,目前任副研究员。研究领域覆盖半导体射频微机电(RF MEMS)时频器件、传感器件和半导体功能材料等领域。包括射频MEMS谐振器件、生化MEMS传感器件、MEMS能量采集器件(PowerMEMS)、无线能量采集系统及新型半导体材料、纳米材料、柔性材料、磁性材料及微纳集成系统。

近年来承担国家自然基金面上项目、青年基金项目、国家重点实验室项目,参与多项国家自然基金重点项目、科技部“863”课题、科学院前沿项目、省地项目等,负责项目和骨干参与项目经费共计900余万元。共发表SCI/EI论文30余篇,申请中国专利12项,授权8项,申请美国专利1项。

取得的重要科研成果:

针对下一代无线通信需求,开发多种高性能、可集成硅基射频MEMS谐振器件。国内首次制备百MHz射频MEMS圆盘谐振器,高稳定性MEMS振荡器和窄带滤波器等,基频150 MHzQ > 10000, 高阶728 MHz,器件性能与国外相当。开发板级振荡器,短期频率稳定性<±1ppm等指标优于国外产品,正推进产业化。开发多种超窄带、低损耗的MEMS滤波器,实现小于1%的超窄带滤波特性。开发新型MEMS低噪声混频模块。开发基于MEMS技术的高性能压控振荡器(VCO)模块,实现新型射频系统

针对物联网应用,研究多种微纳传感器及供能系统。基于悬臂梁的高灵敏度生化检测传感器柔性可穿戴传感器低功耗无线信号传输系统电磁式能量采集系统,实现环境植入生化系统的检测。

以微纳系统集成为目标,研究多种半导体材料、纳米材料、生化兼容柔性材料、压电材料、磁性材料的特性、制备方法和系统集成方法等,实现多种新材料微纳器件。

合著多本书籍 Micro Electro Mechanical Systems Springer),《无线网络微传感器芯片系统》(科学出版社)等。担任多个国内外行业重要期刊审稿人,IEEE Trans. on. Nanotech., J. Microelectromech. Syst.,J. Mater.  Research. Advan. in Numer. Analy.红外与毫米波学报等。 

在国科大讲授多门专业核心课和研讨课。协助培养11名博士和6名硕士,其中已毕业博士7/硕士4名,外校实培本科2名。

主要研究领域方向:

1、研究适用于下一代无线通信的多种高性能、集成化射频器件的设计、制作工艺、圆片级三维封装、测试等基础理论和关键技术研究,基于MEMS技术的高性能、低功耗无线通信系统。

2、研究多种新型MEMS物理、生化传感器、光学传感器、柔性传感器、能量采集器及集成化自供能传感器系统。

3、研究多种新型半导体材料、纳米材料、生化兼容柔性材料、压电材料、磁体材料的力学、电学、机械特性,制备方法和微纳系统集成方法等,实现新材料应用和新传感原理器件。

联系方式:

邮箱:yuanquan@semi.ac.cn;电话:010-82304354

代表性论文或著作:

  1. Z.J. Chen, F.X. WangQ. Yuan, et al, , Sens. Actuators, A: Physical2019SCI

  2. J. Zhao#, Quan Yuan#, et al, Microsystem Technologies, Sep, 2018, 24(9), pp 3885-3892.SCI

  3. Q. Yuan, W. Luo, et al, IEEE Trans. on Electr. Dev., Vol 65, Issue 5, 2015, pp 1605-1608. (SCI)

  4.  M. Han#, Q. Yuan#,et al , J. Microelectromech. Syst., Vol. 23, Iss.1, 2014, pp. 204-212. (SCI)(引用47)

  5. X. Sun#,Q. Yuan#,et al, Sens. Actuators, A, Vol. 188, Dec 2012, pp. 190-197. (SCI)

  6. J. Zhao, Q. Yuan, et al,  J. Micromech. and Microeng., 2016, 27(1): 014003. (SCI)

  7.  J. Zhao, Q. Yuan, et al, Sens. Actuators, A, 2016, 252: 104-111. (SCI)

  8.  X. Li, Q. Yuan, et al, J. Appl. Phys., Vol.111, No. 7, Mar 2012, pp. 7341-7343 (SCI)

  9. Q. Yuan, Bohua Peng, et al, Transducers2015, Alaska, USA, July, 2015, pp. 1968-1972. (顶级会议EI)

  10. F.X. Wang, Q. YuanIEEE International Frequency Control Symposium  2018 (IFCS 2018), May 21-24, 2018, Olympic Valley, California, USA. (顶级会议EI)