赵永梅，女，博士，副研究员，硕士生导师。

2002年郑州大学物理工程学院获学士学位。2005年郑州大学材料物理与化学专业获硕士学位。2008年中国科学院半导体所微电子学与固体电子学专业获博士学位。同年进入中国科学院半导体所集成技术中心工作，一直从事MEMS（微机电系统）传感器的研究工作。在MEMS器件设计和工艺研制、MEMS晶圆级封装和性能测试方面积累了丰富经验。作为项目骨干和项目负责人先后完成和承担国家自然科学基金青年和面上项目、地方科技攻关计划课题及院科研装备等项目。成功研制出全量程覆盖的MEMS压力传感器、高性能MEMS加速度计及高频高Q值RF MEMS谐振器和滤波器。在国内外核心学术期刊发表学术论文30余篇，申请专利9项，出版MEMS领域译著2部。

取得的重要科研成果及所获奖励：

（1）成功研制出硅和SOI衬底上压阻式MEMS压力传感器芯片，量程覆盖低压（10kPa）、中压（1MPa）和高压（10-40MPa）。针对器件灵敏度、非线性等指标的优化形成一套行之有效的设计原则。芯片性能优异，已完成部分公司应用验证。

（2）国内率先研究热压阻NEMS谐振器，建立了热压阻梁对谐振器性能的调制模型，突破纳米级热压阻梁的可控制备工艺技术和谐振器的晶圆级真空封装集成化技术，研制出高频高Q值NEMS谐振器，fQ因子可以达到1014以上。

主要研究领域方向：

新型MEMS和NEMS传感器

联系方式：

E-mail ：ymzhao@semi.ac.cn；办公电话：010-82305405。

在研/完成项目：

1.国家自然科学基金面上项目：基于热压阻NEMS谐振器的单芯片射频前端基础器件研究，2021.1-2024.12，项目负责人

2.院科研装备研制项目：基于倾斜扫描曝光方式的直写曝光系统，2019.1-2019.12，项目负责人

3.北京市科委项目：10kPa量程硅基低压MEMS压力传感器，2013.7-2014.6，项目负责人

4.国家自然科学基金青年项目：具有高灵敏度的低量程多孔硅压力传感器研究，2011.1-2013.12，项目负责人

代表性论文或著作：

[1] Yurong He, Chaowei Si, Guowei Han, Yongmei Zhao, Jin Ning and Fuhua Yang, A Novel Fabrication Method for a Capacitive MEMS Accelerometer Based on Glass-Silicon Composite Wafers, Micromachines 2021, 12, 102. https://doi.org/10.3390/mi12020102

[2] Pengfei Xu, Zhenyu Wei, Lu Jia, Yongmei Zhao, Guowei Han, Chaowei Si, Jin Ning and Fuhua Yang, ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release, Micromachines 2021, 12, 1329. https://doi.org/10.3390/mi12111329

[3] Peishuai Song, Chaowei Si, Mingliang Zhang, Yongmei Zhao, Yurong He, Wen Liu and Xiaodong Wang, A Novel Piezoresistive MEMS Pressure Sensors Based on Temporary Bonding Technology, Sensors 2020, 20, 337; doi:10.3390/s20020337

[4] Peishuai Song, Zhe Ma, Jing Ma, Liangliang Yang, Jiangtao Wei, Yongmei Zhao, Mingliang Zhang, Fuhua Yang and Xiaodong Wang, Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors, Micromachines 2020, 11, 56; doi:10.3390/mi11010056

[5] Meng Zhang, Jian Yang, Yurong He, Fan Yang, Yongmei Zhao, Fen Xue, Guowei Han, Chaowei Si and Jin Ning, Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication, Micromachines 2019, 10, 420; doi:10.3390/mi10060420

[6] Jian Yang, Chaowei Si, Guowei Han, Meng Zhang, Jin Ning, Yongmei Zhao, Fuhua Yang and Xiaodong Wang, A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope, Micromachines 2019, 10, 244; doi:10.3390/mi10040244

[7]微机电系统基础，机械工业出版社，赵永梅 段瑞飞 季安

[8]基于智能工厂的M2M通信架构、技术、标准与应用，机械工业出版社，段瑞飞 赵永梅