毛旭，男，博士，副研究员，硕士生导师。
1996和1999年分别在云南大学物理系获得学士和硕士，2006年获中国电子科技集团电子科学研究院物理电子学专业博士学位，2006年至2009年，北京大学微电子研究院微电子学与固体电子学专业博士后，2009年至今在中国科学院半导体研究所工作。
取得的重要科研成果和获得奖励情况：
长期开展微机电系统器件、生化传感器和晶圆级低温封装方面工作。长期以来一直从事微机械传感器的研制、封装和测试方面研究。参加项目“硅微机械陀螺”成功研制出用于旋转载体的硅微机械陀螺，参加863项目“SOI微机械惯性器件研究”研制出基于SOI材料的高精度微机械加速度计，参加973项目“水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究”实现谐振器等MEMS器件的圆片级低温气密性键合。“Si基薄膜理论和实验研究”获云南省科学技术奖。申请专利9项，授权专利1项，发表微机械传感器方面的论文40多篇。
主要研究领域或方向：
（1）微惯性器件研究
（2）微纳光机电研究
（3）射频微机电器件研究
（4）MEMS/NEMS封装技术的研究
联系方式：
电话：（010）82305405；传真：（010）82305141；
E-mail：maoxu@semi.ac.cn。
在研/完成项目：
（1）国家自然科学基金重点项目：集成微流道及其在肿瘤标志物检测中的应用（2013-2015）
（2）国家973项目：水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究（2009-2013）
（3）重点项目：16×16元光子衰减调光器阵列集成电路研究（2013-2015）
（4）国家重点实验室开放课题：基于微纳谐振子的高灵敏度原位快速生化检测方法研究（20011-2014）
（5）国家自然科学基金项目“旋转载体用硅微机械陀螺”
（6）863项目“SOI微机械惯性器件研究”
（7）项目“硅微机械陀螺”
（8）云南省自然科学重点基金项目“Si基多层膜和超晶格性能研究”
（9）云南省自然科学重点基金项目“光信息功能材料研究”
（10）北京市自然科学基金项目“基于微电子机械系统研究”
代表性论文或著作：
1. Mao Xu, Wei Wei-Wei,Yang Jin-Ling,Yang Fu-Hua,“A Wafer-Level Sn-Rich Au–Sn Bonding Technique and Its Application in Surface Plasmon Resonance Sensors”,CHIN. PHYS. LETT., 31, 056803 (2014) SCI
2. Xu Mao，Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang，“Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate”, J. Microelectromech. Syst., 22, 124-130 （2013）SCI
3. Zhiqiang. Fang, Xu Mao, Jinling Yang, and Fuhua Yang “A Wafer-Level Sn-Rich Au-Sn Intermediate Bonding Technique with High Strength”, J. Micromech. Microeng. 23,095008 (2013) SCI
4. Zhenchuan Yang，yumin Wei, Xu Mao, Guizhen Yan, A single-mask dry-release process for fabrication of high aspect ratio SOI MEMS devices, Science China-Technological Sciences, 56, 387-391 (2013) SCI
5. Xu Mao, Zhiqiang. Fang, Zhe Zhang, Jinling Yang, Zhimei Qi, and Fuhua Yang，“Sn-Rich Au-Sn Hermetic Packaging at Wafer Level and Its Application in SPR Sensor”, IEEE-NMEM 2013, 244-247 (2013) EI
6. Xu Mao，Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang，“Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate”, IEEE MEMS 2012, Paris, France, Jan. 29 – Feb. 2, 337-340 （2012）EI
7. Xu Mao, Zhenchuan Yang, Zhihong Li, Guizhen Yan, “A SOI MEMS Accelerometer Fabricated with Anti-Footing Technique”, Nanotechnology and Precision Engineering, 8, 330-333 （2010） EI
8. Xu Mao, Yumin Wei, Zhenchuan Yang, Guizhen Yan, “Fabrication of SOI MEMS Inertial Sensors with Dry Releasing Process”, IEEE SENSORS 2009 Conference, 479-482 (2009) EI
9. Xu Mao, Zhenchuan Yang, Zhihong Li, Guizhen Yan , “The Method of Prevent Footing Effect in Making SOI Micro-mechanical accelerometer”, IEEE-NEMS 2009, 501-504 (2009) EI
10. yumin Wei, Xu Mao, Zhenchuan Yang， Guizhen Yan, “A single mask dry releasing process for making high aspect ratio SOI mems devices”, IEEE-NEMS 2010, Xiamen, China, （2010） EI
11. Xingdong Lv, Weiwei Wei, Xu Mao, Jinling Yang, and Fuhua Yang, “A novel MEMS actuator with large lateral stroke driven by Lorentz force”,Journal of Micromechanics and Microengineering,accept,（2014） SCI
12. Xingdong Lv, Weiwei Wei, Xu Mao, Yu Chen, Jinling Yang, and Fuhua Yang, “A novel MEMS electromagnetic actuator with large displacement”, Sensors and Actuators A: Physical, accept,（2014） SCI