张金英

张金英,女,博士,副研究员,硕士生导师。

201510-至今 中国科学院大学 电子电气与通信工程学院 岗位教师

主讲研究生专业核心课《微机电系统基础》专业研讨课《MEMS声电子器件及光电子器件》。

20148-至今 中国科学院半导体研究所 集成技术工程研究中心 副研究员、硕士生导师

20127-20147月 国防科技大学 计算机学院 博士后

20123-20133月 加拿大蒙特利尔大学 蒙特利尔理工学院 博士后

20099-20121月 法国瓦朗谢纳大学 法国国家科研中心微电子与纳米技术研究所 声学和电信专业 博士学位

20069-20121月 复旦大学 微电子研究院 微电子学与固体电子学专业 博士学位

20029-20067月 华东师范大学 信息科学与技术学院 微电子学专业 学士学位

所获奖励

2009-2011 获得法国政府奖学金、优秀学位论文

2006-2011 获得复旦大学博士生新生一等奖学金、学业一等奖学金、重点学科优秀博士生资助项目5万元、优秀学位论文

2002-2006 获得华东师范大学国家奖学金、专业奖学金、校级优秀团员、院级优秀党员、院级优秀学生优秀学位论文

主要研究领域方向

多年从事MEMS/NEMS研究,专注微纳传感器与系统的研制。主要研究领域:

  • 高频超声阵列换能器

  • MEMS生化传感器

  • MEMS光学调制器

  • 太赫兹信号处理器件

  • 通用及特种原子力显微镜探针

Springer丛书《Handbook of MEMS》合著洛伦兹力驱动的MEMS驱动器章节。国际核心期刊IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Contrl. /Ultrasonics / Appl. Phys. Lett.等期刊审稿人。

联系方式

E-mailjyzhang@semi.ac.cn; Tel010-82304354 

在研/完成项目

20181-202012月,国家自然科学基金青年项目低串扰、低损耗高频超声阵列换能器关键技术研究30万,主持。

20151-201712月,总装探索研究重大项目子课题,XXX85万,主持。

201512-201712月,传感技术联合国家重点实验室开放课题,硅基太赫兹铁电移相器的研究,20万,主持。

20151-201612月,留学回国人员科研启动基金,基于纳米氧化锌制备技术的高频超声相控阵传感器的研究,3万,主持。

20151-201612月,复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室开放课题,基于MEMS技术的新型高频超声阵列换能器研究,5万,主持。

20139-20147月,中博士后科学基金面上一等资助项目,基于MEMS技术的铁电薄膜太赫兹信号处理器件的研究16万(国拨8+军队等额配套8万),主持。

20177-20216月,国家重点研发计划子课题,微纳机械结构生化传感器研究120万,骨干。

20171-201812月,中科院科研装备研制项目,高灵敏、快速生物检测系统研制,300万,骨干。

20139-20179月,科技部重大科学仪器设备专项子课题,高灵敏、空间高分辨率的扫描探针研制,263万,骨干。

20111-20158月,科技部973计划子课题,肝癌血清学早期筛查的纳米传感微纳器件研究,657万,骨干。

20149-201610月,航空科学基金,光子衰减调光阵列技术研究,10万,骨干。

20167-201612月,横向项目,压阻型原子力显微镜探针研制,55万,骨干。

20131-201512月,横向项目,MEMS红外光学调制器研究,85万,骨干。

20123-20133月,加拿大自然基金委员署、庞巴迪集团、泰雷兹集团联合资助项目,Sky Sensors500万加元,博士后。

20099-20121月,法国政府资助项目,基于MEMS技术的微型高频(100-300兆赫兹)超声相控阵换能器,博士。

代表性论文或著作

第一作者及通讯作者论文

1.              X. Ning, S.M. Chen, J.Y. Zhang*, H. Huang, L. Wang. “Dielectric microwave properties of Si-integrated pulsed laser deposited (Ba, Sr) TiO3 thin films up to 110 GHz”, Applied Physics Letters, 2015, 107 (52905).

2. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji. “Modelling and Simulation of a High-Frequency (100 MHz) Ultrasonic Phased Arrays Based on Single Crystal LiNbO3, Ultrasonics 52 (2012) pp. 47-53.

3. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji. “Numerical and Experimental Investigation of Kerf Depth Effect on High-frequency Phased Array Transducer”, Ultrasonics 52 (2012) pp. 223-229.

4张金英华光平纪新明. “沟槽深度对UMOS功率器件电学性能的影响”, 复旦大学学报(自然科学版), 2009, 48 (4): 506-510. 

5. J. Y. Zhang, G. Han, W. J. Xu, S. M. Chen, “A Novel Wireless Power Transmission Scheme Based on Ultrasonic Phased Array Transducers”, IEEE International Ultrasonics Sysposium, 3-6 Sep. 2014, Chicago, USA

6. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji, S. M. Chen, “Micromachined High-Frequency ZnO Ultrasonic Linear Arrays”, IEEE International Ultrasonics Sysposium, 21-25 Jul. 2013, Prague, Czech Republic.

7. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji, S. M. Chen, “A Controllable Wet-Etching Method to Fabricate High-Frequency ZnO Ultrasonic Arrays”, International Congress on Ultrasonics, 2-5 May 2013, Singapore.

8. J.Y. Zhang, S. Hashemi, M. Karimian, Z. Koubaa and M. Sawan, “A Novel Power Harvesting Scheme for Sensor Networks in Advanced Avionic Applications”, IEEE 20th IEEE ICECS, Dec. 9-12, 2013, Abu Dhabi, UAE.

9. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji, “A Self-Aligned and Mask-free Fabrication Process for High-frequency ZnO Phased Array Transducer”, IEEE International Ultrasonics Sysposium, 7-10 Oct. 2012, Dresden, Germany.

10. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji, S. M. Chen, “Study of Rough Surface to Decrease Reverberation Noise in Ultrasonic Imaging”, IEEE 10th NEWCAS, 17-20 Jun. 2012, Montreal, Canada.

11. J.Y. Zhang, S. Hashemi, M. Karimian, Z. Koubaa and M. Sawan, “Power Recovery From Data Line in Avionic Applications”, IEEE 24th International Conference on Microelectronics, 17-20 Dec. 2012, Algiers, Algeria.

12. J. Y. Zhang, W. J. Xu, X. M. Ji, J. Carlier, “Fabrication and Characterization of Half-Kerfed LiNbO3_based High-Frequency (>100MHz) Ultrasonic Array Transducers”, IEEE International Ultrasonics Sysposium, 18-21 Oct. 2011, Orlando, Florida, USA.

13. J. Y. Zhang, W. J. Xu, X. M. Ji, J. Carlier, “A Novel Method to Fabricate Full-Kerfed High-Frequency (>100MHz) Ultrasonic Array Transducers”, IEEE International Ultrasonics Sysposium, 18-21 Oct. 2011, Orlando, Florida, USA.

14. J. Y. Zhang, W. J. Xu, X. M. Ji, J. Carlier, “A LiNbO3 Ultrasonic Phased Array Transducer of More Than 100 MHz”, International Congress on Ultrasonics, 5-8 Sep. 2011, Gdansk, Poland.

15. J. Y. Zhang, W. J. Xu, X. M. Ji, J. Carlier, “A Novel Method for Fabrication of High-Frequency (>100 MHz) ZnO Ultrasonic Array Transducers on Si Substrates”, International Congress on Ultrasonics, 5-8 Sep. 2011, Gdansk, Poland.

16. J. Y. Zhang, H. Huang, X. M. Ji, “Study of Enhanced Biosensors Based on 2-D Sandwiched Plasmon Photonic Crystals”, IEEE SENSORS, 28-31 Oct. 2011, Limerick, Ireland.

17. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, X. M. Ji, “Design and Fabrication of Ultrasonic Phased Array Transducer beyond 100 MHz based on LiNbO3 Crystal”, IEEE SENSORS, 28-31 Oct. 2011, Limerick, Ireland.

18. J. Y. Zhang, W. J. Xu, J. Carlier, “Design and Simulation of High-Frequency (100 MHz) Ultrasonic Phased Arrays Based on Monocrystalline LiNbO3, 1st Mediterranean Congress on Acoustics, 28-30 Oct. 2010, Sale, Morocco.

19. J. Y. Zhang, X. M. Ji, W. J. Xu, J. Carlier, “Design and Simulation of a High Resolution Ultrasonic Micro-Transducer Derived by LiNbO3, IEEE 10th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 1-4 Nov. 2010, Shanghai, China. 

20. J. Y. Zhang, W. J. Xu, X. M. Ji, J. Carlier, “Design and Simulation of High-Frequency (>100 MHz) Ultrasonic Phased Array Transducer”, IEEE 10th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 1-4 Nov. 2010, Shanghai, China.

21. J. Y. Zhang, H. Huang, X. M. Ji, “Fabrication and Transmission Characteristic of PDMS Plasma Photonic Crystal”, IEEE 9th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 20-23 Oct. 2008, Beijing, China. 

其他论文

1. J. J.Wang, L. H. Wang, Y. F. Zhu, J. Y. Zhang, J. Liao, S. P. Wang, J. L.Yang and F. H. Yang, “A High Accuracy Cantilever Array Sensor for Early Liver Cancer Diagnosis”, Biomedical Microdevices (2016) 18: 110.

2. J.J. Wang, Y.F. Zhu, J.Y. Zhang and J.L. Yang. “Development of Microcantilever Sensors for Liver Cancer Detection”, Advances in Cancer Prevention, 2016, 1(1):1000103.

3. H. He, J.Y. Zhang, J.L. Yang and F.H. Yang. “Silicon tip sharpening based on thermal oxidation technology”, Microsystem Technologies, DOI:10.1007/s00542-016-2941-0 (2016).

4. J. Liao, J.J. Wang, N.N. Li, Y.F. Zhu, J.Y. Zhang, J.L. Yang and F.H. Yang. “Resonance frequency tracking and measuring system for micro-electromechanical cantilever array sensors”, Microsystem Technologies, DOI:10.1007/s00542-016-2930-3 (2016).

5. J. C. Zhao, Q. Yuan, W. Luo, X. Kan, J. Y. Zhang, J. L. Yang, and F. H. Yang” A vacuum encapsulation technique with novel parasitic optimization methods for VHF MEMS resonators,” IEEE MEMS 2016 Conference, Shanghai, Jan. 24-28, 2016, pp. 573-576. 

6. D.B. Xiao, X. Zhou, Q.S. Li, Z.Q. Hou, Y.L. Wu, W. Li, X.H. Wang, J.Y. Zhang, and X.Z. Wu, Honeycomb-like disk resonator with high immunity to fabrication error for gyroscopic application, Dingbang IEEE MEMS 2017 Conference, Las Vegas, Jan. 22-26, 2017, accepted.

7. Saeid Hashemi, Masood Karimian, Jinying Zhang, Ali Naderi and Mohamad Sawan, “Generic Architecture for a Self-Powered Smart Sensor Interface in Avionic Application”, SAE Aerospace Electronics and Avionics Systems Conference, 30 Oct. – 1 Nov. 2012, Phoenix, Arizona, USA.

8. H. Huang, J. Y. Zhang, X. M. Ji, “Photonic Crystal Biosensors Based on Surface Plasmons”, IEEE 9th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 20-23 Oct. 2008, Beijing, China.               

发明专利

1. 陈书明,张金英,宁希,池雅庆,梁斌。一种基于石墨烯的低损耗介质移相器。中国发明专利,授权号:ZL201410176427.7

2. 陈书明,张金英,宁希,池雅庆,梁斌。一种可抑制高频辐射损耗的微带线介质移相器。中国发明专利,授权号ZL201410176501.5

3. 陈书明,张金英,宁希,池雅庆,梁斌。一种超低损耗的高频信号移相处理器件。中国发明专利,授权号ZL201410176432.8

4. 张金英,陈书明,宁希,池雅庆,梁斌。一种基于太赫兹波段的雷达信号处理方法。中国发明专利,授权号ZL201410176503.4

5张金英,陈书明,宁希,池雅庆,梁斌。一种具有移相功能的微带天线。中国发明专利,授权号ZL201410176647.X

6张金英,吕兴东,杨晋玲,杨富华。一种基于微机电技术的M×N光交换阵列。中国发明专利,申请号:201510390181.8

7 杨晋玲,吕兴东,魏伟伟,张金英,杨富华。一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器。中国发明专利,申请号:201510388715.3

8杨晋玲,何欢,张金英,杨富华。一种扫描探针及其制作方法。中国发明专利,申请号:201510128943.7

9何欢,张金英,杨晋玲,杨富华。集成超声换能器的AFM探针阵列。中国发明专利,申请号:201510388664.4

10杨晋玲,王栎皓,廖驹,朱银芳,张金英,杨富华。用于谐振式微纳生化器件的集成系统。中国发明专利,申请号:201610796608.9

国际会议邀请报告

1.    J. Y. Zhang, X. Ning, S. M. Chen, invited by 4th Sina-French Workshop on Functional Materials and Devices, 30-31 Oct. 2013, Shanghai, P. R. China.

2.    J. Y. Zhang, X. Ning, S. M. Chen, invited by 12th Annual Ultrasonic Transducer Engineering Conference, 8-9 Jun. 2014, Los Angeles, California, USA.