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355nm全固态紫外激光器研制成功

       与传统的准分子紫外激光器相比,全固态紫外激光器具有光束质量好、效率高、重频高、寿命长等优点,因此它在生物工程、材料制备、全光光学器件制作、集成电路板及半导体工业晶圆加工等激光精细加工领域获得了广泛的应用。

         我实验室利用在全固态激光领域的技术优势,组织人力物力集中力量攻关,先后攻克了紫外激光器的功率和重频不高的难题,掌握了高倍频、和频效率等关键技术。研制出最高100kHz、5W的高重频355nm端泵全固态紫外激光器,光束质量因子M2<1.3、脉宽约25ns;以及30kHz、7W的侧泵紫外激光器,光束质量因子M2<1.5、脉宽约50ns,实验室运行稳定。已经应用于我所半导体照明中心的LED测试实验,提高了测量的准确值,将来应用于某知名公司加工生产线,目前正在开展工程实用化工作。


 
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