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化学气相沉积SiC膜生长过程的多尺度模拟 [2014-09-09] |
| 西北工业大学 学位论文 化学气相沉积SiC膜生长过程的多尺度模拟  化学气相沉积SiC膜生长过程的多尺度模拟.pdf
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