中文题名   单层SiNx衰减型相移掩膜研究

外文题名   Study of SiNx single-layer attenuated phase-shifting masks
 
论文作者   张奇志著  
 
导师   王植恒教授指导  
 
学科专业  光学
 
研究领域\研究方向   衍射光学
 
学位级别   博士
 
学位授予单位   四川大学
 
学位授予日期   2001
论文页码总数   119页
 
关键词   集成电路 相移掩膜 衰减相移掩膜 光学光刻 氮化硅