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磨削减薄工艺下硅晶圆亚表面损伤层的实验研究 [2022-10-12] |
| 磨削减薄工艺下硅晶圆亚表面损伤层的实验研究，2015，硕士论文，北京工业大学，作者：闫德宝 授予学位：硕士 学科专业：工程力学 导师姓名：秦飞 学位年度：2015 12101348.pdf |
