基于压电异质集成衬底的声学谐振器研究

Acoustic Wave Resonators Using Hetero-integrated Piezoelectric Substrates

【作者】 张师斌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【导师】 欧欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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