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单晶金刚石的射频喷射等离子体高速生长及其加工的研究
[2021-12-27]

单晶金刚石的射频喷射等离子体高速生长及其加工的研究

Study on Single crystal diamond grown by dual RF plasma jet at High Speed and its Polishing treatment

【作者】 刘浩 中国科学院中国科学院大学材料科学与光电技术学院

【导师】 陈广超 材料科学与光电技术学院

2019

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