薄膜体声波谐振器横向结构优化与仿真

Optimization and Simulation of Lateral Structure of Film Bulk Acoustic Resonator

【作者】 张玲玲 中国科学院声学研究所

【导师】 宫俊杰, 刘梦伟 中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所

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