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硅基Ⅲ-Ⅴ化合物半导体薄膜异质集成研究
[2021-09-29]

硅基Ⅲ-Ⅴ化合物半导体薄膜异质集成研究

Investigation of Hetero-integration of Ⅲ-Ⅴ Film-on-silicon

【作者】 林家杰 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【导师】 欧欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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