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用于频率基准源的硅MEMS谐振器研究
[2021-09-19]
文章名: 用于频率基准源的硅MEMS谐振器研究
作者: 游卫龙
起始页码: 1 - 127
文献类型: 学位论文
出版年代: 2016
用于频率基准源的硅MEMS谐振器研究.pdf