原子层沉积氧化铝钝化及应用研究

Investigation of Atomic Layer Deposition Al2O3 Passivation and Application

【作者】 张祥 中国科学院微电子研究所

【导师】 夏洋, 刘邦武 中国科学院微电子研究所,中国科学院微电子研究所

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