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AlN外延薄膜的MOCVD生长和高阻GaN中的深能级研究
[2021-06-28]

AlN外延薄膜的MOCVD生长和高阻GaN中的深能级研究

【作 者】张霞

【学位授予单位】北京大学

【学位名称】硕士

【导师姓名】许福军

【学位年度】2014

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