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硅单晶薄膜的液相外延生长
[2012-08-14]

硅单晶薄膜的液相外延生长
【英文篇名】        Silicon Single Crystal thin Layer Growth by Using Liquid Phase Epitaxy Technology
【作者中文名】   高元恺; 蒋宏第; 徐玉恒; 万立德; 关健民;
【作者英文名】   Gao Yuankai; Jiang Hongdi; Xu Yuheng; Wan Lide; Guan Jianmin;
【作者单位】        哈尔滨工业大学半导体器件教研室; 哈尔滨工业大学化学教研室; 哈尔滨工业大学现代光学教研室; 哈尔滨工业大学单晶科研组;
【文献出处】        哈尔滨工业大学学报, Journal of Harbin Institute of Technology, 编辑部邮箱 1985 S6


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