可变电场调制的原子层沉积（E-PEALD）设备研发

Development of Variable Electric Field-assisted Atomic Layer Deposition (E-PEALD) Equipment

【作者】 孙铁成 中国科学院微电子研究所

【导师】 李超波 中国科学院微电子研究所

学位： 硕士培养单位： 中国科学院微电子研究所授予机构： 中国科学院大学

学科： 微电子学与固体电子学学位授予时间： 2015-07-01

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