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适用于谐振式MEMS陀螺仪的电容读出芯片设计技术研究
[2019-11-04]

《适用于谐振式MEMS陀螺仪的电容读出芯片设计技术研究 》

博士论文，作者张翀，中国科学院研究生院2010年

1572684859519.pdf