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相变存储器产业化关键纳米薄膜制备及其机理研究
[2019-09-19]
任万春.相变存储器产业化关键纳米薄膜制备及其机理研究[D].中国科学院上海微系统与信息技术研究所,2013.
相变存储器产业化关键纳米薄膜制备及其机理研究.pdf