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无应力悬臂梁的制备及MEMS推进器工艺研究-1
[2013-01-12]
无应力悬臂梁的制备及MEMS推进器工艺研究

作者：刘强

毕业学校：北京大学

指导教师：于敦山 李志宏

学位年度：2009


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