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镍有机前驱体在PECVD金刚石环境中凝聚行为的研究
[2019-05-13]

镍有机前驱体在PECVD金刚石环境中凝聚行为的研究
Condensation behavior of nickel-containing metal organic precursor in the course of PECVD diamond

【作者】 石彦超 中国科学院中国科学院大学材料科学与光电技术学院
【导师】 陈广超 中国科学院大学

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