首 页 >> 单篇全文
Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS [2012-01-12] |
| Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS S. H. Baek, J. Park, D. M. Kim, V. A. Aksyuk, R. R. Das, S. D. Bu, D. A. Felker, J. Lettieri, V. Vaithyanathan, S. S. N. Bharadwaja, N. Bassiri-Gharb, Y. B. Chen, H. P. Sun, C. M. Folkman, H. W. Jang, D. J. Kreft, S. K. Streiffer, R. Ramesh, X. Q. Pan, S. Trolier-McKinstry, D. G. Schlom, M. S. Rzchowski, R. H. Blick, and C. B. Eom Science 18 November 2011: 958-961 附件下载 |
