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Chemical etching of (AlxGa1-x)0.5In0.5P using sulfuric and hydrochloric acids
[2018-04-28]

Chemical etching of (AlxGa1-x)0.5In0.5P using sulfuric and hydrochloric acids
TR Stewart , DP Bour
《Journal of the Electrochemical Society》 , 1992 , 139 (4) :1217-1219


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