MRS Volume 340 (Symposium E – Compound Semiconductor Epitaxy) 1994 , 23
Characterization and Control of Surface Morphology and Defect Density for MBE GaAs Surfaces in the Production MBE Environment
George A. Patterson (a1) and James S.C. Chang (a1) 
https://doi.org/10.1557/PROC-340-23Published online: 22 February 2011