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图形化衬底上HVPE生长厚膜GaN制备自支撑衬底
[2017-02-04]

图形化衬底上HVPE生长厚膜GaN制备自支撑衬底

赵智德

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

博士论文

2015-5


4162751320.pdf