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图形化衬底上HVPE生长厚膜GaN制备自支撑衬底 [2017-02-04] |
图形化衬底上HVPE生长厚膜GaN制备自支撑衬底 赵智德 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 博士论文 2015-5 4162751320.pdf |