Whole-Wafer Mapping of Dislocations in 4H-SiC Epitaxy 

• 【作 者】R.E. Stahlbush;K.X. Liu;Q. Zhang;J.J. Sumakeris 

• 【刊 名】Materials Science Forum 

• 【出版日期】2007 

• 【卷 号】Vol.556-557 

• 【页 码】295-298