有源半导体器件嵌入式微悬臂梁及耦合谐振式微悬臂梁传感结构基础研究

作者 ： 王建 
学科专业 ： 微电子学与固体电子学 
授予学位 ： 博士 
学位授予单位 ： 北京大学 
导师姓名 ： 吴文刚 
学位年度 ： 2011