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半导体器件新工艺
[2012-10-16]
索书号:616\L411
本书主要介绍了单晶硅圆片的加工技术, 大规模集成电路的设计制版、芯片加工与封装检验技术, 多种类型的半导体材料与器件的应用, 及其未来的展望等内容。