微机电系统动力学 
孟光,张文明著  科学出版社 

索书号：TM380.13/M587

目录
前言
第1章 绪论
1.1 MEMS技术革命历程
1.2 MEMS的基本概念与特征
1.3 MEMS动力学及其非线性特征
1.4 MEMS动力学研究概况
1.5 MEMS的市场和应用前景
1.6 MEMS的相关资讯
参考文献

第2章 MEMS动力学理论基础
2.1 尺度效应
2.2 微驱动原理及尺度效应
2.3 MEMS力学特性
2.4 MEMS振动特性
2.5 MEMS摩擦学
2.6 微尺度理论研究方法
参考文献

第3章 MEMS动力学建模与仿真
3.1 MEMS建模与仿真概论
3.2 MEMS宏建模与分析方法
3.3 MEMS多能量场耦合降阶建模
3.4 MEMS多能量场耦合模拟仿真
参考文献

第4章 MEMS阻尼特性
4.1 气体阻尼
4.2 热弹性阻尼
参考文献

第5章 静电驱动MEMS动力学
5.1 静电场基本理论
5.2 静电驱动基本方式
5.3 微结构静电力分析
5.4 静电驱动MEMS的基本特性
5.5 静电驱动MEMS的动力学特性
5.6 静电驱动MEMS的组合共振
参考文献

第6章 微转子系统动力学
6.1 微旋转机械发展概论
6.2 微转子系统摩擦磨损特性分析
6.3 微转子-固定轴承接触问题分析
6.4 碰摩微转子系统非线性动力特性分析
6.5 微气体轴承动力润滑特性分析
参考文献

第7章 MEMS动态测试技术
7.1 基本激励方法与技术
7.2 MEMS动态参数测量方法
7.3 计算机微视觉测试技术
7.4 频闪显微干涉视觉测试技术
7.5 激光多普勒测试技术
7.6 光纤迈克尔逊干涉测试技术
参考文献