微机械电子学

索书号 TH39/N418

本书描述了微机械电子学领域中固态致动器装置的基础理论、实际应用材料、致动装置的设计、驱动／控制技术以及典型应用实例，讨论了该学科领域未来的发展趋势。全书内容如下：第1章描述微机械电子学的现状和发展趋势；第2～4章覆盖了相关的理论基础知识、实用材料以及设计制造中的注意事项；第5章描述驱动／控制技术；第6章描述致动器的建模、损耗和发热问题；第7章介绍有限元分析的方法；第8～10章介绍三种类型装置的具体应用；第11章介绍在当代科技和经济形势下微机械电子学的未来发展。