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<半导体科技eFocus> 8月快讯:光刻、晶圆级封装
[2009-08-17]
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 光刻、晶圆级封装

:: 可分离性OPC模型加速了计算光刻技术的发展

在低k1光刻中,如果没有采用经光学临近校正OPC的掩模,那么对光刻工艺的整合和认证就显得意义不大。功能强大的可分离性模型可独立地对光学部分和光刻胶部分进行建模...

:: 局部区域邻近效应的补偿

在掩模板制造工艺中,短程的邻近效应会引起诸如电子背散射等效应,因此必须加以补偿。建立对这些可预测效应进行校正的模型,可以显著地改善采用MoSi衰减层相移掩模...

:: 高折射率材料的研究推动了浸没式光刻技术的发展

人们目前正在热烈讨论如何对基于水的浸没式光刻技术进行改进以使其能用于半节距为45nm工艺节点中。然而,如果光刻技术想要在先进半导体技术中能进一步保持其统治地位...

:: 用于32nm和22nm技术节点的193nm/两次曝光两次刻蚀技术

随着45nm工艺的量产,将焦点开始转向32nm和22nm技术节点。正如某位发言人所说:“不幸的是,这次我们能用的曝光设备仅有193nm浸没式一种。”由于极紫外...
更多...

:: 产业新闻

:: 中国技术交易所揭牌仪式在北京隆重举行
中国技术交易所将总结和借鉴技术市场发展的成功经验,积极探索建立完善技术产权交易制度、机制和规范,创新交易产品和服务内容...

:: 
宏力半导体发布先进的0.13微米嵌入式闪存制程

宏力半导体的新0.13微米嵌入式闪存制程结合了其已经量产的自对准分栅闪存技术和自身的0.13微米逻辑技术。该授权闪存技术具有单元尺寸小...

:: 芯原使用Cadence InCyte Chip Estimator进行芯片设计
采用Cadence InCyte Chip Estimator,帮助在设计过程的更早阶段预测面积、时序、功耗和成本要求,使设计团队可以做出最佳决策并加速其客户...


:: 得可提升DirEKt CoatTM 技术高度

预见到未来对大批量晶圆粘合剂和涂层应用的需求,得可已三倍增强其获奖DirEKt CoatTM 技术的工艺能力。DirEKt Coat晶圆涂层工艺达到...


:: 康宁携手Soitec联袂开发新一代有机移动显示器尖端基板技术

康宁公司与Soitec集团(Euronext Paris)就携手开发适用于新一代平板移动显示器市场的高性能单晶硅薄膜玻璃基板(SiOG)技术事宜达成合作协议...

:: 威格斯宣布具备新型APTIV膜层压生产能力
威格斯如今可以在不使用粘合剂的情况下,将基于VICTREX® PEEK® 聚合物生产的APTIVTM薄膜与多种其他基材进行粘接议...

:: 中芯国际二季度净亏损缩小至9810万元
中芯国际第二季度收入由第一季的1.465亿元上升82.5%至2.674亿元,与去年同期相比则下降22%。其中当季来自90纳米与0.13微米产品销售额...

:: 天合光能与PROINSO签订销售协议

天合光能将在2009年和2010年向PROINSO分别供应最多25 MW与50 MW组件,今年6月底已经完成第一次发货...

:: 巴斯夫拓展与IMEC 联合研发:为半导体行业开发工艺化学品

合作将着重简化22纳米芯片生产步骤的选择性清洗解决方案,先前联合研究项目中生产的首批产品即将面市...



::
新品橱窗

:: SmartMove系统为客户提供无线硅片管理解决方案

SmartMoveTM系统是半导体产业第一个面向非自动化200mm和300mm芯片制造厂的全面硅片管理解决方案。SmartMove系统将会提升成熟芯片制造厂...

:: 得可Galaxy薄晶圆系统, 提高大批量制造超薄晶圆的处理能力

新的Galaxy薄晶圆系统提供杰出的稳定性、工艺能力提高到Cp>2 @ ± 12.5μm、并拥有先进的速度和加速控制...

:: 2830 系列宽波段明场缺陷检测系统

新型 2830 系列明场检测平台采用 PowerBroadbandTM,这是一种独特的高亮度光源,其设计可实现更多重复捕获难以发现的缺陷,加快检测速度...

:: Puma 9500 系列暗场缺陷检测系统

新型 Puma 9500 系列暗场晶圆缺陷检测系统,其解析度和速度都是其前身的两倍,允许晶片厂在不损失产能的前提下,支持了晶圆关键尺寸的缩小...

:: eDR-5210 电子束缺陷再检测和分类系统

新型 eDR-5210 电子束缺陷再检测和分类系统,为KLA-Tencor 检测系统提供了卓越的缺陷影像质量和强大的同KLA-Tencor其他检测设备的连接能力...

 



:: myChipChina论坛


:: 光伏发电工程最多可获70%财政补助

近期我国先后出台了“太阳能屋顶计划” 和“关于实施金太阳示范工程的通知”,业界期盼已久的“金太阳工程”正式启动,这将大大加快中国太阳能光伏产业的发展。随着2009年第三季经济景气的回暖,我国太阳能光伏产业也将快速复苏...

汉高,为您提供全套先进电子组装和半导体材料
简介:汉高是电子材料行业的领导者和先行者,拥有Ablestik...
 

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