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最新动态 Dynamic

集成中心透射电子显微镜介绍

高分辨场发射透射电子显微镜（TEM）可用于半导体、金属、陶瓷、塑料等材料微观形貌观察、晶体结构和微区成分分析，是半导体工艺和材料研究领域不可或缺的分析手段。集成中心新购置的TEM（型号：Talos F200X）日前已经正式开始运行。其主要功能包括：（1） 半...
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中心概况 Laboratory

半导体集成技术工程研究中心——科技基础条件平台

根据国家、中国科学院和半导体所的发展战略需要，2002年开始筹建综合性半导体工艺技术加工平台——半导体集成技术工程研究中心（以下简称中心）。中心拥有配套齐全的先进工艺平台、1700平米的超净工艺线和1100平米的办公用房，于2004年12月完成并投入使用。中...
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科技队伍 The team of science and technology
中心建立了规范的人员、服务和设备管理体系，具备了微纳电子学、光电子学以及微电子机械器件的集成加工及测试表征能力，对研究所科研目标的凝练、国家级重大和重点科研项目的申请和完成、科技企业的关键工艺研发、人才培养和交流起到了关键的支撑作用。面向所内外开放，逐渐建成国际一流的人才培养、研发及合作交流中心。
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科技成果 Scientific and technological achievements
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半导体集成技术工程研究中心