半导体所谢亮课题组牵头申报的“复杂工况激光调制吸收湿度传感器的应用及产业化”项目获得北京市科学技术奖三等奖。

湿度测量涉及国民生产十几个领域，但在环保、气象、化工等复杂工况下测量存在极大困难。传统湿度传感器在温度、压力、流量等剧烈变化，烟尘、腐蚀、气液并存等工况条件时存在数据漂移、易失效甚至损毁、无法连续监测等缺点。本项目基于可调谐半导体激光调制吸收光谱技术（Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy，TDLAS），成功开发面向复杂工况的激光调制吸收湿度传感器，在气象、文物、环保、化工领域应用，实现单型号传感器绝对湿度测量范围覆盖5个数量级（10ppmv ~ 1000000ppmv），具有非接触、高可靠、响应速度快、精度高等优点。经过关键器件、核心算法和工程应用技术创新，最终实现在高温、高湿、低压、高流速、液滴、腐蚀等复杂工况下准确测量。