成 熟 阶 段：孵化期     □生长期     □成熟期

　　一、项目简介

　　本项目组采用自主研发的低噪声平衡集成技术，研制了近红外（1064nm~1550nm）单光子雪崩探测器，在TEC制冷条件下达到了高探测效率（≥30%）、低暗计数（≤10-5/门）水平；近红外单光子阵列器件采用具有自主知识产权的隔离技术，可有效降低像元串扰及提高成像分辨率，直径50μm像元中心距为100μm的背入射平面型SPAD阵列具有良好的击穿电压一致性，8*8阵列的均差在0.5V，0.9Vb偏压时暗电流小于1nA。技术达到国际先进水平，可为量子通信系统提供平衡单光子探测，为新型3D成像提供高速高质量单光子探测阵列。

　　            图1 TEC制冷 InGaAs单光子探测平衡器件及测试模块

　　二、技术特点

　　高性能芯片的制备条件较为苛刻，达到较高的制备成品率需要高端设备和严格的技术条件。探测器阵列，室温下击穿电压均差0.5V，0.9Vb偏压时暗电流小于1nA。

　                         　图2 探测器阵列的IV特性

　　三、专利情况

　　已申请发明专利2项。

　　四、应用领域及市场前景

　　近红外单光子探测在未来激光探测领域具有明确的发展前景，在长距离、高速、高灵敏度探测和成像方面将发挥重要作用。

　　五、合作方式

　　技术转让、技术入股。