成 熟 阶 段：□孵化期     □生长期     √成熟期

　　一、项目简介

　　射频MEMS谐振器件是基于半导体微纳加工技术制备的高性能、集成化硅基时钟器件，具有低功耗、低成本、可与IC集成等优势。

　　为高性能MEMS谐振器、振荡器等射频谐振器件的产业化，打破国外公司的技术垄断，项目组国内首次设计实现具有高频、高Q特性的MEMS谐振器、振荡器、滤波器等器件；开发了高成品率CMOS兼容制造技术，可直接转移代工厂。MEMS谐振器、振荡器是石英晶振的升级换代产品，市场前景广阔。

　　二、技术特点

　　我们拥有高频率、高Q值MEMS谐振器件的设计、加工、封装、测试等整套技术，主要的关键技术包括：

　　1.基于多种MEMS谐振结构和模态的新型谐振器，实现了谐振频率大范围可调输出，谐振信号覆盖kHz、MHz、GHz范围，大气下Q值达到10000以上，真空下可达到40000。

　　2.高成品率的硅基谐振器件微纳加工技术和高可靠性的圆片级封测技术，用于制备高性能谐振器；

　　3.利用高增益、低噪声的驱动电路和温度补偿电路构成高稳定性振荡器，短期稳定性达到±0.5ppm，远载波相位噪声-128dBc/Hz，可实现大规模制备与测试，大幅降低器件成本。

　　4.实现了多种硅基射频器件的集成，实现了射频前端模块的集成化制备。

　                 　图1 MEMS谐振器和板级振荡器

                          图2 MEMS谐振器Q值和振荡器稳定性

　　三、专利情况

　　在射频MEMS器件的结构设计、制作工艺、电路系统等方面拥有完全的自主知识产权，共有授权专利9项。

　　四、应用领域及市场前景

　　MEMS谐振器和振荡器在电子系统中提供时钟基准，是对石英产品的升级换代，正以120%的年增长率，逐渐取代石英晶体振荡器，几乎所有的电子产品系统都需要多个时钟器件。MEMS振荡器产品已经广泛应用于消费电子领域，如智能手机、电子手环、视频监控、摄录机、机顶盒、音响设备等；通信领域，如以太网转换器、路由器、基站等。MEMS振荡器已经被应用于iPhone手机中作为时钟芯片。全球数以亿计的智能设备，给MEMS振荡器创造了巨大的市场机会。

　　五、合作方式

　　技术开发、技术转让等。