项目成熟阶段（选择）：□孵化期      □生长期      √成熟期

概况：

射频MEMS谐振器件是基于半导体微纳加工技术制备的高性能、集成化硅基射频器件，包括谐振器、振荡器、滤波器和混频器等，具有高性能、低功耗、低成本、可与IC集成等优势，是传统谐振器件产品的升级换代，特别是MEMS振荡器，正以120%的年增长率，逐渐取代石英晶体振荡器。本项目在国内首次实现具有高频、高Q的MEMS圆盘谐振器件，多频输出回音壁模态谐振器，高稳定性MEMS振荡器和电路系统，研发了中心频率及带宽可调的多耦合超窄带滤波器；高线性度、低插入损耗MEMS混频器。开发了高可靠性硅基集成微纳加工技术，与CMOS工艺兼容可直接转移代工厂，实现高成品率的批量生产。

技术特点：

本项目将在国内首次实现高性能MEMS谐振器件的产业化，打破国外公司的技术垄断。半导体所拥有高频率、高Q值MEMS谐振器件的设计、加工、封装、测试等整套技术，主要的技术特点包括：

（1）新型MEMS圆盘谐振器实现百MHz到GHz的频率输出，基频149 MHz，Q值大于104；

（2）谐振器和高稳定性驱动电路实现MEMS振荡器，频率稳定性小于1 ppm；

（3）首次使用多电极回音壁模态，实现多频率切换、高阶谐振信号输出；

（4）实现多机械耦合梁、自耦合等结构的超窄带滤波器，带宽低于1%；

（5）开发了高线性度的MEMS机械混频器；

（6）开发了高成品率微纳加工技术和高可靠性的圆片级真空封装技术，可实现大规模制备与测试，大幅降低器件成本。

市场需求及应用情况：

MEMS谐振器件在电子系统中有重要的作用，应用非常广泛。MEMS谐振器和振荡器在电子系统中作为频率参考源，提供时钟基准，可取代传统的石英晶体振荡器，具有微型化、集成化的优势。每年生产的频率参考源器件数以百亿计。目前，MEMS振荡器产品已经广泛应用于消费电子领域，如智能手机、数码相机等，及网络和通信领域，如以太网转换器、基站等电子系统中。MEMS滤波器具有高频率、窄带滤波特性，非常适合应用于未来多频、多模通信系统的前端滤波模块，MEMS谐振器、振荡器和滤波器等射频器件具有巨大的市场机会。

合作方式：

项目进行中将以技术开发为主，择机与相关企业以技术转让或技术入股的方式进行合作。

产业化所需条件：

器件的半导体加工技术由代工厂完成，根据需求的产量，委托代工厂进行加工。公司组建后端封测生产线，后期的器件系统集成组装等主要生产工序都计划放在公司进行；根据项目进展情况，配备劳动力资源，从事生产、质控、采购、销售、管理等系列工作。预计2000万的产业化经费，1000平米的厂房。